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 1pm高分辨率光干涉CNC显微镜BW-M7000
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1pm高分辨率光干涉CNC显微镜BW-M7000
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尼康旗下的NIKON INSTECH公司(总部:东京)将推出高度分辨率达到1pm的光干涉显微镜系统“BW-M7000”(图1)。该系统可高速高精度测定高度范围从亚纳米级到毫米级的表面性状(材料表面图案及粗糙度、表面上的微小落差等)。


表面性状测定采用尼康自主开发的方式——“FVWLI(Focus Variation with White Light Interferometry)法”。该方法可使对象材料的表面生成干涉纹,高精度决定各像素的焦点位置。通过使用这种方式,可在2.5倍(视野4.4×4.4mm)至100倍(视野111.0×110.0μm)的所有倍率下实现三维算数平均高度(Sa)为0.1nm级别的表面性状评估。能够以单一模式测定超平滑表面到粗糙表面,无需更换光学滤光片等部件。另外,在测定膜厚时使用光谱干涉法。能以不到0.1秒的时间测定厚度为1nm~40μm的透明薄膜的厚度。


可通过程序控制手段实现全自动测定,能够自动实施对焦、调整样品的倾斜、判断是否合格等操作。可自动测定多个视野,除了材料研发一线之外,还可轻松用于品质管理及品质保证现场。


该显微镜配备最大行程为300×300mm的电动XY轴载物台,以及最大行程为200mm的电动Z轴变焦载物台。可测定半导体、LED、薄膜材料、高分子材料、精密机械加工部件等多种样品(图2、图3)。在测定钻头尖端的表面形状时,可用夹具保持其直立固定状态。