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扫描电子显微镜(SEM)基础

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1 什么是扫描电子显微镜(SEM)
   
Scanning Electron Microscope(SEM)扫描型电子显微镜是由真空系统、
   高压电源、高灵敏度增幅器获取样品表面图像的科学仪器。
2 SEM的工作原理

 



3 SEM与光学显微镜相比,SEM的优点有哪些?
   
比光学显微镜多100x的景深;
   高倍率和连续变倍(从10倍到4万倍);
   高分辨率(大于20nm)。